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單晶車間事故應(yīng)急預(yù)案

  
評論: 更新日期:2013年03月03日

? 停電事故

  一.供電公司計劃停電(檢修設(shè)施,計劃供電等)

  針對以上情況,需要注意以下幾個方面: 1、供電公司必須提前二天通知公司配電負(fù)責(zé)人, 確定停電,送電的時間及停電的線路等;公司配電 負(fù)責(zé)人通過行政辦向相關(guān)部門發(fā)文通知; 2、單晶車間根據(jù)單晶爐的每爐拉晶時間,決定 各爐的停爐時間,在停電之前5小時必須停爐冷卻, 防止停電時爐體過熱。 3、停電時,相關(guān)部門安排人員仔細(xì)檢查電器, 供水系統(tǒng)是否正常,單晶車間對單晶爐進(jìn)行維修保 養(yǎng)。

  二.突發(fā)性停電

  在正常生產(chǎn)過程中出現(xiàn)突然斷電,當(dāng)班組長首先保持冷靜, 做出正確指揮 1.班組長工作內(nèi)容: 發(fā)生斷電后立即前往一樓開啟備用電源(指定熟悉備用電源 的員工),在備用電源也無電時,立即啟動柴油發(fā)電機(jī),啟 動后觀察發(fā)電機(jī)電壓380V穩(wěn)定后,合上送電開關(guān)。保證冷 卻水的正常供應(yīng)。 送水后指導(dǎo)輔助工協(xié)同操作工注意各爐臺水壓變化,水壓在 2.5-3.0,如有異常及時上報班長及相關(guān)部門。 在一樓送電的同時,組織現(xiàn)場搶救工作,各爐臺操作工處理 好自己的爐臺,檢查是否處理得當(dāng)。 等待來電的同時安排好崗位工作,操作看好爐內(nèi)變化記錄結(jié) 晶時間。

  停電時采取的措施:

  若爐子工作時,加熱部分停電:

  1、在控制面板上點(diǎn)擊工序重置【此時 UPS自動供電給 籽晶馬達(dá),坩堝馬達(dá)。在自動狀態(tài)下(在引晶之后):180S之 后,籽晶自動上升100mm,坩堝自動下降50mm。但是在 180S之內(nèi)退出自動或在手動狀態(tài)下則不會有以上動作?!?使其轉(zhuǎn)換為手動狀態(tài),關(guān)閉所有轉(zhuǎn)動開關(guān),降低堝位50mm左 右,,使晶體脫離液面.加熱電源轉(zhuǎn)換為功率控制,然后將功率 調(diào)整至零。 2、如果斷電時間較短,液面未結(jié)晶或已結(jié)晶且小于4分 鐘則重啟加熱電源,將功率慢慢的升至熔料功率融化結(jié)晶面 如果晶體長度小于我們規(guī)定的長度,則進(jìn)行回熔處理,如果大 于規(guī)定的長度則按照一段標(biāo)準(zhǔn)取出,然后在進(jìn)行引晶等工作。

  控制電源斷電的處理方法:

  1、控制電源斷電; 在控制面板上點(diǎn)擊工序重置,使其轉(zhuǎn)換為手動狀態(tài), 降堝位50mm左右,使晶體脫離液面. 2、如果控制電源無法恢復(fù)供電, 當(dāng)不能及時恢復(fù)通電時,則必須關(guān)閉 加熱器,關(guān)閉S/L、S/R 、C/L、C/R,提升晶棒脫離液面,升高坩堝 位置(液面結(jié)晶后半小時頂起熱屏),充氬氣至常壓自然冷卻。 3、控制電源恢復(fù)供電, 液面未結(jié)晶或已結(jié)晶且小于4分鐘則重啟加熱 電源,將功率慢慢的升至熔料功率融化結(jié)晶面,打開S/L、S/R 、C/L、 C/R,在打開S/R晶轉(zhuǎn) 和C/R堝轉(zhuǎn)之前確保S/R 和C/R電位器處于零位。 如果我們等徑長度大于規(guī)定的長度則按照一段標(biāo)準(zhǔn)取出,然后在進(jìn)行引 晶等工作, 如果晶體長度小于我們規(guī)定的長度,則進(jìn)行回熔處理

  三.來電后班組長現(xiàn)場指揮工作:

  a.電源恢復(fù)時,立即開真空泵,待半分鐘后開抽空閥門,將氬氣流量恢 復(fù)正常。 b.若時間較短(液面未結(jié)晶或液面已結(jié)晶但小于10 分鐘且石英坩堝 未破),按加熱 功率開,將功率升至熔料功率。 c.若時間較短(液面未結(jié)晶或液面已結(jié)晶但小于10 分鐘且石英坩堝 未破),按加熱 功率開,將功率升至熔料功率。 d.熔化結(jié)晶面,在此期間應(yīng)密切注意硅料液面熔化情況,一旦發(fā)生硅 液面下降,立即停爐并上報管理人員。 e.晶體處理同晶變單晶一致,待結(jié)晶全熔后,手動調(diào)節(jié)功率為引晶功 率,溫度穩(wěn)定后,開始引晶作業(yè)。 f.若停電時間較長(液面結(jié)晶已經(jīng)大于10 分鐘或石英坩堝破裂),快 速提升晶體或 籽晶,使晶體或籽晶脫離液面150mm。 g.在熔體結(jié)晶40分鐘時,快速提升坩堝,使坩堝頂起導(dǎo)流筒 100mm(堝內(nèi)原料不足30kg不必頂起)。停爐,充分冷卻后拆爐。

  重點(diǎn)提示:如若顯示電腦控制面板和加

  熱部分電源一起出現(xiàn)斷電,操作員工應(yīng) 該頭腦冷靜,必須在2分鐘內(nèi)關(guān)閉爐臺 下部氬氣球閥,防止?fàn)t臺副室門自動沖 開,引起重大事故。

  漏硅的應(yīng)急處理:

  1.立即關(guān)閉功率。 2.退出控制柜面板上單晶生長控制器,使其處于手動狀態(tài)。 3.關(guān)閉堝轉(zhuǎn)。 4.快速提升晶體或籽晶,使晶體或籽晶脫離液面150mm。 5.在熔體結(jié)晶40分鐘時,如有可能,快速提升坩堝,使坩 堝頂起導(dǎo)流筒100mm。 6. 關(guān)閉真空泵抽氣蝶閥,防止硅液進(jìn)入管道,開啟副室球 閥進(jìn)行抽空,等液面結(jié)晶后再開啟主室蝶閥,關(guān)閉副室蝶閥。 7. 檢查各處電線是否緊靠著受熱抽空管道,防止引起電線明 火。 8.停爐,充分冷卻后拆爐。

  重點(diǎn)提示:做好前幾步后,氬氣充到常壓

  的一半左右,使其自然冷卻,處理完成后去 爐臺下觀察坩堝軸波紋管是否破裂漏硅,真 空管道、波紋管邊上是否有電線緊挨住,有 無起火等安全隱患,其它地方也要仔細(xì)觀察, 如有異常及時做出處理。

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