本標準規(guī)定了用陰極熒光顯微鏡法測試氮化鎵單晶位錯密度的方法。
本標準適用于位錯密度在1×103 個/cm2~5×108 個/cm2 之間的氮化鎵單晶中位錯密度的測試。
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