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碳化硅單晶中痕量雜質元素含量的測定 輝光放電質譜法

標 準 號： YS/T 1600-2023
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位： 國合通用測試評價認證股份公司 等
發(fā)布日期： 2023-04-21
實施日期： 2023-11-01
點 擊 數：
更新日期： 2024年10月07日
內容摘要

本文件規(guī)定了碳化硅單晶中雜質元素含量的輝光放電質譜測定方法。
本文件適用于碳化硅單晶中雜質元素含量的測定。

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