本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了微電子技術(shù)用貴金屬漿料中方阻的測定方法。本部分適用于微電子技術(shù)用貴金屬漿料方阻的測定。
本標(biāo)準(zhǔn)是對GB/T17473—1998《厚膜微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法》(所有部分)的整合修訂,分為7個部分.本部分為GB/T17473—2008的第3部分。
本部分代替GB/T17473.3—1998《厚膜微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 方阻測定》。
本部分與GB/T17473.3—1998相比,主要有如下變動:
———將原標(biāo)準(zhǔn)名稱修改為微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 方阻測定;
———增加低溫固化型漿料方阻的測定方法;
———原標(biāo)準(zhǔn)的原理中,“將漿料用絲網(wǎng)印刷在陶瓷基片,經(jīng)過燒結(jié)后,膜層在一定溫度及其厚度、寬度不變的情況下……”修改為:“將漿料用絲網(wǎng)印刷在陶瓷基片或有機樹脂基片上,經(jīng)過燒結(jié)或固化后,膜層在一定溫度及厚度、寬度不變的情況下”;
———測厚儀修改為:光切顯微測厚儀用于燒結(jié)型漿料:范圍為0mm~5 mm,精度為0.001
mm。千分尺用于固化型漿料:范圍為0mm~5mm,精度為0.001mm。