本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了對TDR-Z直拉法鍺單晶爐產(chǎn)品的型號品種規(guī)格、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、存儲以及定購和供貨等。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于直拉法拉制鍺單晶的晶體爐。