本標準規(guī)定了對TDL-GX 硅芯生長爐產品的型號品種規(guī)格、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、存儲以及定購和供貨等。
本標準適用于高頻感應加熱，采用基座法生長硅基發(fā)熱載體的設備。