本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了諧振式傳感器中MENS諧振敏感元件非線性振動特性參數(shù)的測試方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于敏感元件在研制和生產(chǎn)過程中關(guān)于非線性振動特性和敏感元件閉環(huán)系統(tǒng)頻率偏移的測試，其他非MENS敏感元件可參考使用。