本標準規(guī)定了半導體設備制造信息標識的術(shù)語和定義、設計和原則、使用及相應的綜合標簽庫。半導體設備制造信息標識包括半導體制造設備選擇、安裝、使用和維護時需要的各種類型的技術(shù)和商業(yè)信息。信息類型包括操作手冊/指南、安裝手冊、維護手冊、維護計劃、備件/零部件清單、維修/故障排除手冊、發(fā)行說明、培訓手冊等。