序號 | 裝置 | 操作溫度(℃) | 操作壓力(MPa) | 介質(zhì) | 作業(yè)人數(shù)(人) | 作業(yè)時(shí)間 |
1 | 精餾塔 | 110 | 0.56 | 三氯氫硅 | 2 | 15分鐘 |
2 | 吸收塔 | -40~-38 | 1.36 | 氯硅烷、H2、HCL | 2 | 15分鐘 |
3 | 解析塔 | 塔釜125-135 塔頂-25~-30 | 0.9 | 氯硅烷、H2、HCL | 2 | 15分鐘 |
4 | D-104尾氣吸氣緩沖罐 | 20-60 | 1.35 | 氯硅烷、H2、HCL | 2 | 15分鐘 |
5 | V0309氫氣緩沖罐 | 25 | 1.35 | 氯硅烷、H2、HCL | 2 | 15分鐘 |
6 | 電加熱器 | 550 | 3 | 三氯氫硅、H2、HCL | 2 | 15分鐘 |
7 | 氫氣儲罐(20m3) | 20 | 1.6 | 氫氣 | 3以上 | 每天不定時(shí) |
8 | 氫氣緩沖罐(1.04m3) | 20 | 1.6 | 氫氣 | 1-2 | 15分鐘 |
9 | 電解槽 | 80-90 | 1.6 | KOH溶液 | 1-2 | 15分鐘 |
10 | 還原爐 | 1090 | 0.6 | 氫氣、三氯氫硅 | 1-2 | 15分鐘 |
11 | 硅芯爐 | ? | ? | ? | 1 | 24小時(shí) |
12 | 冷凍機(jī) | ? | ? | 氫氣、HCL、氯硅烷 | 1-2 | 15分鐘 |
13 | 空氣壓縮機(jī) | ? | 0.8-2.5 | 空氣 | 1-2 | 15分鐘 |
14 | 液氮儲罐 | -196 | 0.85 | 氮?dú)?/div> | 1-2 | 1小時(shí)/周 |
15 | 液氬儲罐 | -196~-40 | 3 | 氬氣 | 1-2 | 1小時(shí)/周 |
16 | 四氯化硅儲罐 | 20 | 0.5 | 四氯化硅 | 2 | 15分鐘 |
崗位 | L(發(fā)生事故的可能性) | E(人暴露于危險(xiǎn)環(huán)境的頻繁程度) | C(發(fā)生事故產(chǎn)生的后果) | D | 風(fēng)險(xiǎn)級別 |
精餾塔 | 1 | 6 | 40 | 240 | Ⅱ |
吸收塔 | 1 | 6 | 7 | 42 | Ⅳ |
解析塔 | 1 | 6 | 15 | 90 | Ⅲ |
D-104氫氣緩沖罐 | 1 | 6 | 15 | 90 | Ⅲ |
V0309氫氣緩沖罐 | 1 | 6 | 15 | 90 | Ⅲ |
電加熱器(氫化) | 3 | 6 | 15 | 270 | Ⅱ |
氫氣儲罐(20m3) | 1 | 6 | 40 | 240 | Ⅱ |
氫氣緩沖罐(1.04m3) | 1 | 6 | 15 | 90 | Ⅲ |
電解槽 | 0.5 | 6 | 15 | 45 | Ⅳ |
還原爐 | 3 | 6 | 15 | 270 | Ⅱ |
硅芯爐 | 0.5 | 10 | 2 | 10 | Ⅴ |
冷凍機(jī) | 0.5 | 6 | 7 | 21 | Ⅳ |
空氣壓縮機(jī) | 1 | 3 | 7 | 21 | Ⅳ |
液氮儲罐 | 0.5 | 3 | 7 | 10.5 | Ⅴ |
液氬儲罐 | 0.5 | 3 | 7 | 10.5 | Ⅴ |
四氯化硅儲罐 | 1 | 6 | 15 | 90 | Ⅲ |