本文件規(guī)定了利用高分辨X射線衍射儀測(cè)試氮化鎵單晶襯底片晶面曲率半徑的方法。
本文件適用于化學(xué)氣相沉積及其他方法制備的氮化鎵單晶襯底片晶面曲率半徑的測(cè)試，氮化鎵外延片晶面曲率半徑的測(cè)試可參照本文件進(jìn)行。