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多晶硅生產尾氣中硅烷含量的測定 氣相色譜法

標 準 號： YS/T 1290-2018
替代情況：
發(fā)布單位： 工業(yè)和信息化部
起草單位： 內蒙古神舟硅業(yè)有限責任公司、江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司
發(fā)布日期： 2018-10-22
實施日期： 2019-04-01
點 擊 數：
更新日期： 2022年06月08日
內容摘要

本標準規(guī)定了硅烷法生產多晶硅尾氣中硅烷含量的氣相色譜測定方法。
本標準適用于硅烷法生產多晶硅尾氣中硅烷含量的測定。測定范圍為0.050%～10.00%。

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