本標準規(guī)定了氣相色譜法測定多晶硅生產用氯硅烷中各組分含量的方法。
本標準適用于多晶硅生產用氯硅烷中各組分含量的測定。測定范圍（體積分數）：二氯二氫硅為0.01 %～20 %，三氯氫硅、四氯化硅為0.01 %～100 %。