本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了集成電路用高純銅合金靶材（以下簡(jiǎn)稱靶材）的分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、質(zhì)量證明書(shū)和訂貨單（或合同）內(nèi)容。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于集成電路制造用的高純銅鋁（CuAl）合金靶材和高純銅錳（CuMn）合金靶材。