本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電感耦合等離子體發(fā)射光譜法測(cè)定多晶硅用高純石墨制品中鋁、鈣、銅、鐵、鉀、鎂、鈉、磷、砷、鋅、鎳、鉻、硼含量的方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于多晶硅用高純石墨制品中鋁、鈣、銅、鐵、鉀、鎂、鈉、磷、砷、鋅、鎳、鉻、硼含量的測(cè)定。