本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了多晶硅中基硼含量的測試方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于在硅芯上沉積生長的多晶硅棒中基硼含量的測定，測定范圍：0.01×1013atoms/cm3～5×1015atoms/cm3。