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本標準規(guī)定了金砷蒸發(fā)料的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標志、包裝、運輸、貯存及質(zhì)量證明書與合同(或訂貨單)等內(nèi)容。 本標準主要適用于半導體芯片制造背金時用的金砷蒸發(fā)料。