本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了異質(zhì)外延層和硅多晶層厚度的測量方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于測量襯底與沉積層之間界面層厚度小于100nm的異質(zhì)外延層和硅多晶層的厚度，測量范圍為1μm～100μm。