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高純砷化學(xué)分析方法 電感耦合等離子體質(zhì)譜法(ICP-MS)測定高純砷中雜質(zhì)含量

標 準 號: YS/T 34.1-2011
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位: 峨嵋半導(dǎo)體材料廠、峨眉山嘉美高純材料有限公司
發(fā)布日期: 2011-12-20
實施日期: 2012-07-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2019年05月13日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了高純砷中金屬雜質(zhì)含量的測定方法,采用電感耦合等離子質(zhì)譜法測定砷中鎂、鉻、鎳、銅、鋅、銀、銻、鉛、鉍、鈉、鉀、鋁、鈣、鐵等14個雜質(zhì)含量。
本標準適用于99.999%~99.99999%高純砷中金屬雜質(zhì)含量的測定。測定范圍1×10-7% ~1000×10-7% 。

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