本標準規(guī)定了應用掃描表面檢查系統(tǒng)對拋光片、外延片等鏡面晶片表面的局部光散射體進行測試，對局部光散射體與延伸光散射體、散射光與反射光進行區(qū)分、識別和測試的方法。
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