本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用區(qū)熔法和光譜分析法評(píng)價(jià)顆粒狀多晶硅的代位碳原子濃度、施主雜質(zhì)濃度和受主雜質(zhì)濃度的方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于尺寸在600μm～3000μm的顆粒狀多晶硅，其他尺寸的顆粒狀多晶硅可參照本標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。