本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了化學(xué)氣相沉積爐的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、質(zhì)量證明書和合同（或訂貨單）內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于化學(xué)氣相沉積。