本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了4H晶型和6H晶型碳化硅單晶拋光片的微管密度的無損檢測方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于4H晶型和6H晶型碳化硅單晶拋光片經(jīng)單面拋光或雙面拋光后、微管的徑向尺寸在一微米至幾十微米范圍內(nèi)的微管密度的測量。