本標準規(guī)定了外延釘缺陷的檢驗方法。
本標準適用于判斷硅外延片上是否存在高度不小于4μm的釘缺陷。如果釘缺陷比較少且彼此不相連，本標準可用于釘缺陷的計數。本標準不能測量釘缺陷的高度。
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