本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了銀靶的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運輸、貯存及質(zhì)量證明書與訂貨單(或合同)內(nèi)容。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體器件用的各類銀濺射靶材(以下簡稱銀靶)。其他用途的靶材也可參照使用。