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硅外延用三氯氫硅化學(xué)分析方法 硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷和銻量的測(cè)定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): GB/T 29056-2012
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局、中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位: 南京中鍺科技股份有限公司、南京大學(xué)現(xiàn)代分析中心、南京大學(xué)國(guó)家863計(jì)劃新材料MO 源研究開(kāi)發(fā)中心
發(fā)布日期: 2012-12-31
實(shí)施日期: 2013-10-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2013年11月27日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS)測(cè)定硅外延用三氯氫硅(SiHCl3)中硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷、銻等痕量元素含量的方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅外延用三氯氫硅(SiHCl3)中硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷、銻等含量的測(cè)定。

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