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碳基薄膜 分類及命名

標 準 號: GB/T 43104-2023
替代情況:
發(fā)布單位: 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位: 中國科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所、武漢材料保護研究所有限公司、寧波新材料測試評價中心有限公司 等
發(fā)布日期: 2023-09-07
實施日期: 2024-04-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2024年01月01日
內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了碳基薄膜的分類、命名及簡稱。本文件所述的碳基薄膜是以碳為主要成分,并由物理氣相沉積(PVD)或化學(xué)氣相沉積(CVD)制備所得的薄膜。碳基薄膜包括非晶碳基薄膜[又稱為類金剛石薄膜(DLC)],CVD金剛石薄膜、石墨薄膜和類聚合物碳基薄膜。
本文件適用于工業(yè)規(guī)模生產(chǎn)的碳基薄膜。本文件不適用于尚未實現(xiàn)工業(yè)規(guī)模生產(chǎn)的其余種類碳基薄膜。
本文件只涉及碳基薄膜材料,不涉及由主體功能層和上/下附加層組成的復(fù)合涂層。
薄膜中各層組分和/或性能隨厚度變化的薄膜稱為梯度薄膜。本文件涉及的碳基薄膜均指非梯度薄膜。
碳基薄膜可能包含如氫、金屬或其他元素。其中金屬成分還包含金屬碳化物。本文件涵蓋的摻雜碳基薄膜只包括以碳元素為主要成分的薄膜體系。對于碳以碳化物形式存在的含碳基薄膜,也不適用于本文件中的金屬摻雜非晶碳基薄膜(a-C:Me,a-C:H:Me)體系。
本文件不適用于富勒烯、碳納米管、石墨烯、石墨炔等碳材料。

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