本規(guī)范適用于以幾何表面形貌為測量對象的掃描探針顯微鏡的校準(zhǔn)。
掃描探針顯微鏡根據(jù)其設(shè)計(jì)原理不同,校準(zhǔn)時(shí)需要根據(jù)實(shí)際情況選擇相關(guān)的計(jì)量特性。對有特殊要求的測量任務(wù),如對溯源要求較高的測量,不在本校準(zhǔn)規(guī)范的適用范圍。