本規(guī)范適用于0.1 μm級(jí)行程為0～10 mm、0.2 μm級(jí)行程為0～25 mm、0.5 μm級(jí)行程為0～50 mm、1 μm級(jí)～10 μm級(jí)行程為0～100 mm的光柵式測(cè)微儀校準(zhǔn)。