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流化床法顆粒硅 氫含量的測定 脈沖加熱惰性氣體熔融紅外吸收法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 40566-2021
替代情況：
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位： 無錫市產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)院、上海賽夫特半導(dǎo)體材料有限公司
發(fā)布日期： 2021-10-11
實(shí)施日期： 2022-05-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2021年11月29日
內(nèi)容摘要

本文件描述了用脈沖加熱惰性氣體熔融紅外吸收法測定顆粒硅中氫含量的方法。

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