本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了微納米標(biāo)準(zhǔn)樣板（幾何量）的術(shù)語和定義、型式與基本參數(shù)、要求、檢查條件、檢查方法、標(biāo)志、運(yùn)輸及儲(chǔ)存等。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于線間隔為0.05 μm~10 μm的微納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板、臺(tái)階高度為0.01 μm~100 μm的微納米臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)樣板、薄膜厚度為2 nm~1 000 nm的納米膜厚標(biāo)準(zhǔn)樣板和線寬為25 nm~1 000 nm的納米線寬標(biāo)準(zhǔn)樣板。