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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了靜電復(fù)印光導(dǎo)體表面缺陷的測(cè)量條件、測(cè)量方法及測(cè)量報(bào)告的要求。本標(biāo)準(zhǔn)適用于靜電復(fù)?。ù蛴 髡?、多功能)設(shè)備用的光導(dǎo)體的外觀質(zhì)量及背景印跡的測(cè)量。