本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了真空系統(tǒng)中用于控制氣流或真空壓力的真空閥門的漏率測試方法。適用于關(guān)閉后對于示漏氣體密封漏率小于1×10-5 Pa·m3/s的真空閥門的漏率測試，也適用于閥體的漏率測試，可作為真空閥門檢驗(yàn)的依據(jù)。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于真空閥門在允許操作壓力范圍、壓差、烘烤溫度、操作溫度和壽命周期等規(guī)定技術(shù)條件下整個(gè)工作過程的漏率測試，在上述條件下閥門的測試漏率低于制造商給定的標(biāo)稱漏率。
