本標準規(guī)定了真空濺射鍍膜設備的基本參數、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸和貯存等。
本標準適用于壓力在1×10-1Pa～1×10-3Pa范圍的真空濺射鍍膜設備。
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