本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了濺射離子泵(以下簡稱離子泵)性能參數(shù)的測量方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于名義體積流率大于10L/s的離子泵。
本標(biāo)準(zhǔn)測量體積流率的壓力范圍從1.5×10-3 Pa到1×10-7 Pa。