本文件依據(jù)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境空氣中具體化學(xué)物質(zhì)（種、組或類）的濃度，對(duì)空氣化學(xué)污染進(jìn)行分級(jí)。同時(shí)，本文件分級(jí)技術(shù)要求，給出了包括檢測(cè)方法、分析方法和時(shí)間加權(quán)系數(shù)在內(nèi)的規(guī)程。
本文件目前只考慮潔凈室運(yùn)行工況下空氣中100g/m3～10-12g/m3的化學(xué)污染物濃度。
本文件不涉及那些空氣中雖有化學(xué)物質(zhì)存在、但不認(rèn)為對(duì)產(chǎn)品或工藝有危害風(fēng)險(xiǎn)的行業(yè)、工藝和生產(chǎn)。
本文件無(wú)意探討空氣化學(xué)污染物的特性。
本文件不包含對(duì)表面化學(xué)污染的分級(jí)。