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潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第12部分：監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求

標(biāo) 準 號： GB/T 25915.12-2021
替代情況：
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標(biāo)準化管理委員會
起草單位： 中天道成（蘇州）潔凈技術(shù)有限公司、中國電子工程設(shè)計院有限公司
發(fā)布日期： 2021-10-11
實施日期： 2022-05-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2022年01月27日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準給出了監(jiān)測粒徑限值不超過0.1微米（100nm）的納米尺度粒子濃度的技術(shù)要求。

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