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納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境規(guī)劃與設計

標 準 號： GB/T 40868-2021
替代情況：
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 江蘇蘇凈科技有限公司、中國電子工程設計院有限公司
發(fā)布日期： 2021-10-11
實施日期： 2022-05-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2022年05月20日
內(nèi)容摘要

本文件給出了納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境的規(guī)劃與選址勘察、設計要求等。
本文件適用于納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境的規(guī)劃與設計。

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