本部分規(guī)定了用于測量儀器軟件校驗的S1型和S2型軟件測量標準（標準具）的術(shù)語定義。
本部分還規(guī)定了S1型軟件測量標準的文件格式。
本部分適用于基于區(qū)域法表面結(jié)構(gòu)標準鏈，鏈環(huán)G定義的輪廓表面結(jié)構(gòu)和區(qū)域表面結(jié)構(gòu)測量儀器的計量特性校準的測量標準。