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以布魯斯特角入射P偏振輻射紅外吸收光譜法測量硅中間隙氧含量

標 準 號： SJ/T 11552-2015
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位： 工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標準化研究院
發(fā)布日期： 2015-10-10
實施日期： 2016-04-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2021年04月13日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了以布魯斯特角入射P偏振輻射紅外吸收光譜法測量硅中間隙氧含量的方法。

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