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真空技術(shù) 四極質(zhì)譜檢漏方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): GB/T 35049-2018
替代情況:
發(fā)布單位: 國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局
起草單位: 北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所、合肥智海光電技術(shù)有限公司、安徽皖儀科技股份有限公司、沈陽真空技術(shù)研究所
發(fā)布日期: 2018-05-14
實(shí)施日期: 2018-12-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2018年08月10日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了四種常用的四極質(zhì)譜檢漏方法實(shí)施的一般要求,每種檢漏方法在應(yīng)用對(duì)象、系統(tǒng)組成、檢漏程序等方面的要求以及對(duì)檢漏文件的要求。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于真空行業(yè)以及其他行業(yè)中采用四極質(zhì)譜儀進(jìn)行的泄漏檢測(cè)工作,適用于部組件級(jí)、分系統(tǒng)級(jí)以及系統(tǒng)級(jí)產(chǎn)品的密封性能測(cè)試。

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