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磁性濺射靶材透磁率測試方法

標 準 號： YS/T 1124-2016
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位： 有色金屬技術(shù)經(jīng)濟研究院
發(fā)布日期： 2016-07-11
實施日期： 2017-01-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2017年11月12日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了磁控濺射用磁性靶材透磁率的術(shù)語和定義、檢測設(shè)備、檢驗過程及結(jié)果計算等內(nèi)容。本標準適用于濺射薄膜用各類磁性靶材透磁率的檢驗。

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