本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了低壓化學(xué)氣相淀積(LPCVD)設(shè)備的技術(shù)術(shù)語(yǔ)及薄膜厚度（以下簡(jiǎn)稱膜厚）均勻性的計(jì)算公式、產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及包裝、運(yùn)輸、貯存等方面的要求。
電業(yè)安全工作規(guī)程（發(fā)電廠和變電所電…電力生產(chǎn)企業(yè)安全設(shè)施規(guī)范手冊(cè)電力建設(shè)安全工作規(guī)程第1部分：火力…電業(yè)安全工作規(guī)程（電力線路部分）火力發(fā)電廠設(shè)計(jì)技術(shù)規(guī)程工業(yè)企業(yè)照明設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)【作廢】《建筑照明設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)》條文說(shuō)明農(nóng)村安全用電規(guī)程【作廢】
