本文件規(guī)定了晶體硅光伏電池用管式等離子體增強化學氣相淀積（PECVD）設備的術語和定義、型號命名、工作環(huán)境、要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、搬運和運輸、貯存等。
本文件適用于晶體硅光伏電池用管式 PECVD 設備，產(chǎn)品主要用于在晶體硅光伏電池減反射膜、鈍化膜的淀積與氫鈍化。