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微機電系統(tǒng)（MEMS）技術 硅基MEMS微結構彎曲強度試驗方法

標 準 號： GB/T 42895-2023
替代情況：
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 北京大學、中機生產力促進中心有限公司、中國電子技術標準化研究院、北京燕東微電子科技有限公司 等
發(fā)布日期： 2023-08-06
實施日期： 2023-12-01
點 擊 數：
更新日期： 2023年09月24日
內容摘要

本文件描述了硅基MEMS加工所涉及的微結構彎曲強度原位試驗的要求和試驗方法。
本文件適用于采用微電子工藝制造的微結構彎曲強度測試。

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