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本文件規(guī)定了真空激光準(zhǔn)直位移測量裝置(以下簡稱真空激光準(zhǔn)直裝置)的產(chǎn)品規(guī)格、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運輸、貯存。