本部分適用于半導(dǎo)體壓力傳感器，它等同采用IEC 60747-14-3:2001《半導(dǎo)體器件 第14-3部分：半導(dǎo)體傳感器--壓力傳感器》。
本部分規(guī)定了測(cè)量絕壓、表壓和差壓的半導(dǎo)體傳感器的要求。