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電子級水

標(biāo) 準(zhǔn) 號： GB/T 11446.1-2013
發(fā)布單位： 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位： 信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心、中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院 等
發(fā)布日期： 2013-12-31
實(shí)施日期： 2014-08-15
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更新日期： 2020年09月09日
內(nèi)容摘要

GB/T11446的本部分規(guī)定了電子級水的級別、技術(shù)指標(biāo)要求、試驗(yàn)方法和檢驗(yàn)規(guī)則。
本部分適用于電子和半導(dǎo)體工業(yè)用高純清洗用水。

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