本標(biāo)準(zhǔn)的目的是制定一套可用于評(píng)估掩模缺陷檢查系統(tǒng)靈敏度的測(cè)試掩模。這套測(cè)試掩模包括：含特制圖形缺陷的測(cè)試芯片，以及不含特制圖形缺陷的參考測(cè)試芯片。由于測(cè)試芯片是由各種單集合而成，所以在本標(biāo)準(zhǔn)中，測(cè)試芯片是用單圖形、單圖形中的特制缺陷、以及單的布局來(lái)定義的。此外，測(cè)試掩模是通過(guò)規(guī)定測(cè)試芯片的排列來(lái)定義的。本標(biāo)準(zhǔn)還講述這套掩模的用法。
電化學(xué)儲(chǔ)能電站接入電網(wǎng)技術(shù)規(guī)定電力系統(tǒng)配置電化學(xué)儲(chǔ)能電站規(guī)劃導(dǎo)則電化學(xué)儲(chǔ)能電站接入電網(wǎng)測(cè)試規(guī)程智能電化學(xué)儲(chǔ)能電站技術(shù)導(dǎo)則小水電機(jī)組監(jiān)控保護(hù)直流系統(tǒng)運(yùn)行及檢…地?zé)岚l(fā)電機(jī)組術(shù)語(yǔ)彩色鍍膜光伏組件技術(shù)要求硅基薄膜異質(zhì)結(jié)光伏組件技術(shù)要求
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