本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅片電阻率的擴展電阻探針測量方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于測量晶體晶向與導(dǎo)電類型已知的硅片的電阻率和測量襯底同型或反型的硅片外延層的電阻率,測量范圍:10-3 Ω·cm~102 Ω·cm。