本文件描述了五種原子力顯微術(shù)探針懸臂梁法向彈性常數(shù)的測(cè)量方法,測(cè)量的精度誤差為5%~10%。每個(gè)方法分別隸屬于尺寸法、靜態(tài)實(shí)驗(yàn)法和動(dòng)態(tài)實(shí)驗(yàn)法三類方法中的一種。方法的選擇取決于分析所要達(dá)到的目的,便易性及現(xiàn)有的儀器條件。
本文件不適用于高于5%~10%的測(cè)量精度,如要獲得高于5%~10%的測(cè)量精度,需要使用本文件未提及的更高精度的方法進(jìn)行測(cè)量。